Жартылай өткізгішті (FAB) таза бөлмедегі салыстырмалы ылғалдылықтың мақсатты мәні

Жартылай өткізгішті (FAB) таза бөлмедегі салыстырмалы ылғалдылықтың мақсатты мәні шамамен 30-50% құрайды, бұл литография аймағындағы сияқты ±1% тар қателік шегіне мүмкіндік береді – немесе алыс ультракүлгін өңдеуде (DUV) одан да аз. аймақ – басқа жерде оны ±5% дейін босаңсытуға болады.
Өйткені салыстырмалы ылғалдылықта таза бөлмелердің жалпы өнімділігін төмендететін бірқатар факторлар бар, соның ішінде:
1. Бактериялардың көбеюі;
2. Қызметкерлер үшін бөлме температурасының жайлылық диапазоны;
3. Электростатикалық заряд пайда болады;
4. Металл коррозиясы;
5. Су буының конденсациясы;
6. Литографияның деградациясы;
7. Суды сіңіру.

Бактериялар және басқа да биологиялық ластаушы заттар (зеңдер, вирустар, саңырауқұлақтар, кенелер) салыстырмалы ылғалдылығы 60%-дан жоғары ортада дами алады. Кейбір бактериялар қауымдастығы 30% жоғары салыстырмалы ылғалдылықта өсе алады. Компания ылғалдылықты 40%-дан 60%-ға дейін бақылау керек деп есептейді, бұл бактериялар мен респираторлық инфекциялардың әсерін азайтуға мүмкіндік береді.

40%-дан 60%-ға дейінгі аралықтағы салыстырмалы ылғалдылық адам жайлылығы үшін қалыпты диапазон болып табылады. Ылғалдылықтың тым көп болуы адамдарды тұншықтыруы мүмкін, ал 30%-дан төмен ылғалдылық адамдарда құрғақ, жарылған тері, тыныс алудағы қолайсыздық пен эмоционалдық бақытсыздықты сезінуі мүмкін.

Жоғары ылғалдылық таза бөлме бетіндегі электростатикалық зарядтардың жиналуын азайтады – бұл қалаған нәтиже. Төмен ылғалдылық зарядтың жиналуы және электростатикалық разрядтың ықтимал зақымдаушы көзі үшін өте қолайлы. Салыстырмалы ылғалдылық 50%-дан асқанда электростатикалық зарядтар тез тарай бастайды, бірақ салыстырмалы ылғалдылық 30%-дан аз болғанда олар оқшаулағышта немесе жерленбеген жерде ұзақ уақыт сақталуы мүмкін.

35% және 40% арасындағы салыстырмалы ылғалдылық қанағаттанарлық ымыра ретінде пайдаланылуы мүмкін және жартылай өткізгішті таза бөлмелер әдетте электростатикалық зарядтардың жиналуын шектеу үшін қосымша басқару элементтерін пайдаланады.

Көптеген химиялық реакциялардың, соның ішінде коррозия процестерінің жылдамдығы салыстырмалы ылғалдылықтың жоғарылауымен жоғарылайды. Таза бөлменің айналасындағы ауаға ұшыраған барлық беттер жылдам.