Ауа кондиционерлеу жүйесіне арналған қайталама қайтарылатын ауа схемасы

Салыстырмалы түрде шағын таза бөлме ауданы бар және кері ауа арнасының шектеулі радиусы бар микроэлектрондық шеберхана кондиционерлеу жүйесінің қайталама кері ауа схемасын қабылдау үшін қолданылады. Бұл схема да жиі қолданыладытаза бөлмелерфармацевтика және медициналық көмек сияқты басқа салаларда. Таза бөлме температурасының ылғалдылығы талаптарын қанағаттандыру үшін желдету көлемі әдетте тазалық деңгейіне жету үшін қажетті желдету көлемінен әлдеқайда аз болғандықтан, жеткізілетін ауа мен кері ауа арасындағы температура айырмашылығы шамалы. Қайтару ауасының бастапқы схемасы пайдаланылса, ауаны жеткізу нүктесі мен ауа баптау қондырғысының шық нүктесі арасындағы температура айырмашылығы үлкен болса, қайталама қыздыру қажет, нәтижесінде ауаны өңдеу процесінде суық жылудың орнын толтыру және энергияны көбірек тұтыну қажет. . Қайтаратын ауаның қайталама сұлбасы пайдаланылса, қайталама қайтару ауасы бастапқы кері ауа схемасының қайталама қыздыруын ауыстыру үшін пайдаланылуы мүмкін. Бастапқы және қайталама қайтару ауасының қатынасын реттеу қайталама жылуды реттеуге қарағанда сәл азырақ сезімтал болса да, қайталама қайтару ауасы схемасы шағын және орта өлшемді микроэлектрондық таза цехтарда ауаны кондиционерлеудің энергияны үнемдеу шарасы ретінде кеңінен танылды. .

Мысал ретінде ISO 6 класс микроэлектроника таза шеберханасын алайық, таза цехтың ауданы 1 000 м2, төбенің биіктігі 3 м. Интерьер дизайнының параметрлері температура tn= (23±1) ℃, салыстырмалы ылғалдылық φn=50%±5%; Ауа берудің жобалық көлемі 171 000 м3/сағ, шамамен 57 сағ-1 ауа алмасу уақыты, ал таза ауа көлемі 25 500 м3/сағ (оның ішінде технологиялық шығарылатын ауа көлемі 21 000 м3/сағ, қалғаны оң қысымның ағып кетуі ауа көлемі). Таза цехтағы сезімтал жылу жүктемесі 258 кВт (258 Вт/м2), кондиционердің жылу/ылғалдылық қатынасы ε=35 000 кДж/кг, ал бөлменің кері ауа температурасының айырмашылығы 4,5 ℃. Бұл кезде бастапқы қайтарылатын ауа көлемі
Бұл қазіргі уақытта микроэлектроника өнеркәсібінде таза бөлмеде ауаны баптау жүйесінің ең жиі қолданылатын түрі болып табылады, жүйенің бұл түрі негізінен үш түрге бөлінеді: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Құрғақ катушкалар) +FFU. Әрқайсысының артықшылықтары мен кемшіліктері және қолайлы жерлері бар, энергияны үнемдеу әсері негізінен сүзгі мен желдеткіштің және басқа жабдықтың жұмысына байланысты.

1) AHU+FFU жүйесі.

Жүйе режимінің бұл түрі микроэлектроника өнеркәсібінде «ауаны кондиционерлеу мен тазарту фазасын бөлу тәсілі» ретінде қолданылады. Екі жағдай болуы мүмкін: бірі - кондиционер жүйесі тек таза ауамен жұмыс істейді, ал тазартылған таза ауа таза бөлменің барлық жылу және ылғалдылық жүктемесін көтереді және пайдаланылған ауа мен оң қысымның ағуын теңестіру үшін қосымша ауа ретінде әрекет етеді. таза бөлменің бұл жүйені MAU+FFU жүйесі деп те атайды; Екіншісі, таза ауаның көлемі таза бөлменің суық және жылу жүктемесінің қажеттіліктерін қанағаттандыруға жеткіліксіз немесе таза ауа сыртқы күйден шық нүктесіне дейін өңделгендіктен қажетті машинаның меншікті энтальпия айырмашылығы тым үлкен. , және үй ішіндегі ауаның бір бөлігі (қайтарылатын ауаға тең) ауаны кондиционерлеу қондырғысына қайтарылады, жылу мен ылғалдылықты өңдеу үшін таза ауамен араласады, содан кейін ауаны беру пленумына жіберіледі. Қалған таза бөлменің кері ауасымен (екінші қайтарылатын ауаға тең) араласып, ол FFU қондырғысына кіреді, содан кейін оны таза бөлмеге жібереді. 1992 жылдан 1994 жылға дейін осы жұмыстың екінші авторы сингапурлық компаниямен ынтымақтаса отырып, 10-нан астам аспиранттарды ауаны тазартудың соңғы түрін қабылдаған SAE Electronics Factory АҚШ-Гонконг бірлескен кәсіпорнының жобасына қатысуға жетекшілік етті. желдету жүйесі. Жобада шамамен 6000 м2 (оның 1500 м2 Жапон атмосфералық агенттігі келісім-шартқа отырған) ISO 5-сыныптағы таза бөлмеге ие. Кондиционер бөлмесі сыртқы қабырға бойымен таза бөлме жағына параллель және дәлізге іргелес орналасқан. Таза ауа, шығатын ауа және кері ауа құбырлары қысқа және біркелкі орналастырылған.

2) MAU+AHU+FFU схемасы.

Бұл шешім әдетте температура мен ылғалдылықтың көп талаптары және жылу мен ылғалдылық жүктемесіндегі үлкен айырмашылықтары бар микроэлектроника қондырғыларында кездеседі және тазалық деңгейі де жоғары. Жазда таза ауа белгіленген параметр нүктесіне дейін салқындатылады және ылғалдандырылады. Әдетте таза ауаны изометриялық энтальпия сызығының қиылысу нүктесі мен 95% салыстырмалы ылғалдылық сызығының температурасы мен ылғалдылығы бар таза бөлмеге немесе ең үлкен таза ауа көлемі бар таза бөлмеге дейін өңдеу орынды. MAU ауасының көлемі ауаны толтыру үшін әрбір таза бөлменің қажеттіліктеріне сәйкес анықталады және таза ауаның қажетті көлеміне сәйкес құбырлары бар әрбір таза бөлменің АХУ-ға таратылады және жылу үшін кейбір үй-жайдағы кері ауамен араластырылады. және ылғалдылық өңдеу. Бұл құрылғы барлық жылу мен ылғалдылық жүктемесін және ол қызмет көрсететін таза бөлменің жаңа ревматизм жүктемесінің бір бөлігін көтереді. Әрбір АХУ өңдеген ауа әрбір таза бөлмедегі қоректендіру ауасының пленумына жіберіледі, ал үй-жайдағы кері ауамен қайталама араласқаннан кейін оны FFU қондырғысы бөлмеге жібереді.

MAU+AHU+FFU ерітіндісінің басты артықшылығы тазалық пен оң қысымды қамтамасыз етумен қатар, әрбір таза бөлме процесін өндіруге қажетті әртүрлі температура мен салыстырмалы ылғалдылықты қамтамасыз етеді. Дегенмен, жиі орнатылған AHU санына байланысты бөлменің ауданы үлкен, таза бөлме таза ауа, кері ауа, ауа беру құбырлары қиылысады, үлкен орын алады, орналасу қиынырақ, техникалық қызмет көрсету және басқару қиынырақ. және күрделі, сондықтан пайдалануды болдырмау үшін мүмкіндігінше арнайы талаптар жоқ.